Home
For authors
Submission status

Current
Archive (English)
Archive
   Volumes 81-92
   Volumes 41-60
   Volumes 21-40
   Volumes 1-20
   Volumes 61-80
      Volume 80
      Volume 79
      Volume 78
      Volume 77
      Volume 76
      Volume 75
      Volume 74
      Volume 73
      Volume 72
      Volume 71
      Volume 70
      Volume 69
      Volume 68
      Volume 67
      Volume 66
      Volume 65
      Volume 64
      Volume 63
      Volume 62
      Volume 61
Search
VOLUME 78 (2003) | ISSUE 5 | PAGE 737
Кавитационный механизм распыления материалов медленными многозарядными ионами
PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf
Abstract
Развит термодинамический подход к распылению материалов медленными многозарядными ионами, основанный на кавитационном механизме разрушения приповерхностного слоя материала. Показано, что сильное электрическое поле медленного высокозаряженного иона, приближающегося к поверхности диэлектрика, приводит к формированию растянутой метастабильной приповерхностной области, в которой спонтанно могут возникнуть образующие перколяционный кластер каверны, что приводит к разрушению этой области (кавитационная электровзрывная эрозия). Найденные универсальные зависимости объема области разрушения от заряда и свойств поверхности находятся в качественном согласии с экспериментальными данными по распылению поверхностей LiF и SiO2 медленными ионами аргона и ксенона.