Определение энергии миграции вакансий и собственных междоузельных атомов в кремнии в интервале температур 400 - 600К
Пантелееев В.А., Ершов С.Н., Черняховский В.В., Нагорных С.Н.
PACS: 61.70.Fz; 66.30.Kv
В настоящей работе приводятся экспериментальные данные по прямому определению энергии миграции и коэффициентов диффузии точечных дефектов в кремнии, идентифицированных как вакансии и собственные междоузельные атомы.