Двухкристальная рентгеновская дифрактометрия в роли метода стоячих рентгеновских волн
А. М. Афанасьев, М. А. Чуев, Р. М. Имамов+, Э. М. Пашаев+, С. Н. Якунин+, Дж.Хорват*
Физико-технологический институт РАН, 117218 Москва, Россия
+Институт кристаллографии РАН, 117333 Москва, Россия
*Научно-исследовательский институт технической физики и материаловедения, Н-1525 Будапешт, Венгрия
PACS: 61.10.-i
Abstract
Показано, что в совершенных многослойных системах можно с помощью одного
только метода двухкристальной рентгеновской дифрактометрии фиксировать
смещения атомных слоев (вызываемых инородными слоями), сравнимые и меньше
межатомного расстояния. Ранее считалось, что фиксация таких малых смещений
доступна лишь особым методам, типа метода стоячих рентгеновских волн.
Измерения проводились на системе GaAs/InAs/GaAs, где инородным слоем являлся
слой InAs, толщина которого не превышала 3 монослоев, а его структура имела
островковый характер и по существу представляла собой набор отдельных
квантовых точек. Проведенные измерения позволили определить смещение
верхнего слоя GaAs по отношению к буферу GaAs с точностью менее 0.1 толщины
атомного слоя.