Механизм низкотемпературной поверхностной самодиффузии, активированной ионной бомбардировкой
Т. И. Мазилова, И. М. Михайловский, Е. В. Саданов
Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт", 61108 Харьков, Украина
PACS: 68.35.Bs
Abstract
На атомном уровне исследованы элементарные акты эрозии поверхности
при низких температурах под действием бомбардировки ускоренными атомами и
ионами гелия. Установлено, что нарушение регулярности расположения
поверхностных атомов связано с выделением энергии образования междоузельных
атомов при выходе их на поверхность, часть которой расходуется на образование
поверхностных дефектов, находящихся в возбужденном состоянии.
Экспериментально определена энергия возбуждения адатомов, обеспечивающая
возможность протекания диффузионных процессов ближнего порядка.