О механизме переноса никеля вдоль поверхности Si(111) в присутствии адсорбированных атомов кобальта
Долбак А.Е., Ольшанецкий Б.З., Тийс С.А.
PACS: 61.14.Hg, 68.35.-p
Методами дифракции медленных электронов и электронной оже-спектроскопии установлен механизм переноса никеля вдоль поверхности Si(lll) в присутствии адсорбированных атомов кобальта. Этот механизм заключается в диффузии атомов никеля через объем и их сегрегации на поверхность в процессе отжига. Роль этого механизма в переносе никеля становится определяющей при температурах ниже 700° С, при которых перенос никеля вдоль чистых поверхностей кремния не наблюдается. Установлено, что нижняя температура, при которой наблюдается перенос никеля на чистых поверхностях кремния определяется коэффициентом сегрегации никеля.