О возможном механизме лазерного отжига
Суслов И.М.
При облучение лазером поверхности полупроводника возбуждаются взаимные колебания двух подрешеток кристалла с амплитудой порядка межатомного расстояния. Эти колебания могут являться причиной лазерного отжига.