Формирование ориентированных пленок углерода, легированных азотом
Гусева М.Б., Бабаев В.Г., Бабина В.М., Хвостов В.В.
Методом ионно-стимулированной конденсации углерода в азотосодержащей плазме получены ориентированные углеродные пленки, легированные азотом. Содержание азота в пленках по данным оже-спектроскопии меняется от 3 до 36ат.% в' диапазоне температур подложки -20°С —ь200°С, в камеру напускались азот и аргон в определенном соотношении до давления Ρ β 10"1 Па. Атомная и электронная структуры углеродных пленок исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии, ожеи КР-спектроскопии. При Τ — 200° С получены монокристаллы с гексагональной кристаллической решеткой а 8.70А.
Home
![](/ps/948/article_14475_800_head.png "Методом ионно-стимулированной конденсации углерода в азотосодержащей плазме получены ориентированные углеродные пленки, легированные азотом. Содержание азота в пленках по данным оже-спектроскопии меняется от 3 до 36ат.% в' диапазоне температур подложки -20°С —ь200°С, в камеру напускались азот и аргон в определенном соотношении до давления <b><i>Ρ </i></b><sup>β</sup> 10"<sup>1</sup> Па. Атомная и электронная структуры углеродных пленок исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии, ожеи КР-спектроскопии. При <b><i>Τ — </i></b>200° С получены монокристаллы с гексагональной кристаллической решеткой <b><i>а </i></b>8.70А.")