Эффект массы бомбардирующих ионов в распылении сплавов
Тубольцев B.C., Черныш B.C., Куликаускас B.C.
Экспериментально установлено, что изменение массы бомбардирующих ионов от *°Аг+ до *Не+ оказывает сильное влияние на пространственные распределения компонентов, распыленных из сплава NiMoRe. Для описания преимущественной эмиссии легкого компонента по нормали к поверхности образца, наблюдавшейся в случае бомбардировки ионами 4Не+, предложен механизм распыления обратнорас-сеянными ионами. PACS: 34.50.Dy