|
VOLUME 65 (1997) | ISSUE 1 |
PAGE 86
|
Локальные поверхностные сегрегации имплантированного алюминия в слабодефектном кристалле железа
Лаврентьев В.И., Погребняк А.Д., Шандрик Р.
Методом сканирования микропучка протонов с энергией ЗМэВ вдоль поверхности образца ОЦК-Fe, имплантированного ионами алюминия в интервале доз (1-Ь 50) ■ 10|6см~2, изучено поверхностное распределение элементов. Обнаружены кольцеобразные области диаметром до ЗОмкм с повышенной концентрацией алюминия, которые проявляются при дозах имплантации (5-г20)· 10'6 см-2. Возникновение данных областей обусловлено процессами радиационно-стимулированной сегрегации. Предложен механизм процессов сегрегации имплантированной примеси, основанный на существовании в исходном кристалле невысокой плотности дислокаций. Ρ ACS: 68.55.-a, 81.15.-z
|
|