Рост и структура эпитаксиальных алмазных пленок, выращенных на монокристаллах Si(111)
Поляков С.Н., Рахимов А.Т., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Пилевский А.А.
Проведены эксперименты по выращиванию монокристаллических алмазных пленок на кристаллах кремния с ориентацией поверхности (111). Приводятся результаты, свидетельствующие о возможности получения тонких гетероэпитаксиальных пленок. PACS: 81.15.Gh