Home
| VOLUME 99 (2014) | ISSUE 9 | PAGE 614 |
|---|
|
Изготовление субмикронных структур методом трехмерной лазерной литографии
И. И. Шишкин+*, М. В. Рыбин+*, К. Б. Самусев+*, М. Ф. Лимонов+*, Р. В. Киян×, Б. Н. Чичков×, Ю. С. Кившарь+°, П. А. Белов+
+С.-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 С.-Петербург, Россия *Физико-технический институт им. Иоффе РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия ×Laser Zentrum Hannover e.V., D-30419 Hannover, Germany °Nonlinear Physics Center, Australian National University, ACT 0200 Canberra, Australia
Abstract
В работе продемонстрированы уникальные возможности метода трехмерной лазерной литографии на примере создания демонстрационного микрообъекта сложной формы и фотонных кристаллов типа "поленница" для инфракрасного диапазона электромагнитного спектра. Произведен расчет фотонных дисперсионных ветвей структуры типа "поленница" в зависимости от контраста диэлектрической проницаемости и фактора заполнения. |