Влияние методов травления на диэлектрические потери кубитов-трансмонов
Т. А. Чудакова+*×, Г. С. Мажорин+*×, И. В. Трофимов°, Н. Ю. Руденко+, А. М. Мумляков°, А. С. Казьмина+*×, Е. Ю. Егорова+*×, П. А. Гладилович+, М. В. Чичков+, Н. А. Малеева+, М. А. Тархов°, В. И. Чичков+
+Национальный исследовательский технологический университет МИСИС, 119049 Москва, Россия
*Российский квантовый центр, 121205 Сколково, Москва, Россия
×Московский физико-технический институт, 141700 Долгопрудный, Россия
°Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, 119991 Москва, Россия
Abstract
Сверхпроводниковые кубиты - одна из наиболее перспективных платформ для
реализации отказоустойчивого квантового процессора.
Существенной проблемой этих кубитов являются дефекты на поверхностях
сверхпроводников и на подложке, приводящие к декогеренции и временным
флуктуациям характеристик кубита. Количество и характер дефектов зависят
от материала подложки и кубитов и качества их обработки.
В данной работе были экспериментально исследованы трансмоны,
изготовленные по одному технологическому чертежу с использованием двух
методик травления алюминия: жидкостного в растворе
слабых кислот и сухого плазмохимического в хлорсодержащей смеси.
Времена релаксации и когерентности кубитов, изготовленных методом сухого
травления, более чем в 2 раза превосходят аналогичные характеристики
кубитов, изготовленных с использованием жидкостного травления.
Исследование временных флуктуаций времен релаксации и частот кубитов
показал значительно меньшее влияние двухуровневых дефектов на кубиты
сухого травления, чем на кубиты жидкостного травления. Анализ временных
изменений характеристик кубитов позволяет определить доминирующие
механизмы их диэлектрических потерь.