Молекулярно-пучковая эпитаксия метаморфных гетероструктур с квантовыми точками InAs/InGaAs, излучающими в телекоммуникационном диапазоне длин волн
С. В. Сорокин, Г. В. Климко, И. В. Седова, А. И. Галимов, Ю. М. Серов, Д. А. Кириленко, Н. Д. Прасолов, А. А. Торопов
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе, 194021 С.-Петербург, Россия
Abstract
В работе представлены результаты исследований гетероструктур с
квантовыми точками InAs/InGaAs, выращенными методом молекулярно-пучковой
эпитаксии на поверхности метаморфных буферных слоев InGaAs
с линейным профилем изменения состава на подложках GaAs (001). Приведены
результаты исследований выращенных гетероструктур методами рентгеновской
дифрактометрии, просвечивающей электронной микроскопии и атомно-силовой
микроскопии при формировании дополнительного слоя КТ на
поверхности структур. Подтверждена тенденция к формированию квантовых
объектов, вытянутых вдоль выделенного направления [1-10] (так называемых
квантовых "штрихов"), обусловленная асимметричной поверхностной миграцией
In в различных кристаллографических направлениях. Установлено, что
поверхностная плотность квантовых точек и квантовых "штрихов" составляет
(2-4)× 1010 см-2. При этом в спектрах низкотемпературной
(T = 10 К) микро-фотолюминесценции в широком диапазоне длин волн
(1.30-1.55 мкм) наблюдаются узкие линии, связанные с излучением из
отдельных квантовых точек. На основе измерений методами атомно-силовой микроскопии
и просвечивающей электронной микроскопии проведена оценка
размеров и формы квантовых точек и продемонстрировано хорошее соответствие с
параметрами, ранее опубликованными в литературе.